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真空等離子清洗機SGR-1300

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2019-12-20   119.123.134.*
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深圳市廣潤自動化設(shè)備有限公司為您提供真空等離子清洗機sgr-1300。真空等離子清洗機
型號:sgr-1300
品牌:grm
產(chǎn)品簡述
1、等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
a控制單元
控制單元液晶觸摸屏控制方式。 而控制單元又分為兩個大的部分:
1電源部分:主要電源頻率是13.56mhz、13.56mhz 是需要電源匹配器的
2系統(tǒng)控制單元是液晶觸摸屏控制
b真空腔體
真空腔體材質(zhì):高強度鋁合金腔體
c真空泵
產(chǎn)品特點
處理溫度低:
處理溫度可以低至50°c以下,低的處理溫度可以---對樣品表面不造成熱影響。
處理全程無污染
等離子清洗機本身是很的設(shè)備,無產(chǎn)生任何污染,處理過程也無產(chǎn)生任何污染。可以搭配原有生產(chǎn)流水線,實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。
處理效果穩(wěn)定:
等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定,常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果---。
可以處理各種形狀的樣品:
對于復(fù)雜形狀的樣品等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進行清洗。
---勢
德國電路技術(shù):
采用德國高壓激勵電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,------的清洗效果
全面安全防護:
溫度過高,過載,氣壓失常,短路斷路,誤操作,等全面的報警保護功能。
密封腔體:
高真空度密封腔體材質(zhì)及制造工藝
靈活的氣體配方選擇:
可選擇兩路、三路、四路氣體配方方案,滿足不同工藝要求。
---產(chǎn)品部件:
全部部件采用---外------部件,運行穩(wěn)定壽命更長
低溫清洗:
滿足不同場合溫度要求,不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
簡易:
極低的運行成本,操作簡單,過程無化學(xué)污染物排放,符合規(guī)范
等離子清洗的作用
等離子清洗的作用原理主要是:
a對材料表面的刻蝕作用--物理作用 等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
b激huo鍵能,交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20ev,而聚合物中大部分的鍵能在0~10ev,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基不這些鍵 形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),---地激huo了表面活性。
c形成新的---團--化學(xué)作用 如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,那么在活化的材料表面會収生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的---團,如烴基、羧基等,這些---團都是活性基團,能明顯提高材料表面活性。
參數(shù)指標
整機規(guī)格 約1150×1350×1850長×寬×高mm
整機重量 約400 kg
鋁合金清洗腔體規(guī)格 780×400×475長×寬×高mm
鋁合金清洗腔體有效積 130l
輸入電源 380v三相/50 hz
整機輸入功率含真空泵 2500 w
射頻輸出連續(xù)可調(diào) 0~600 w,配置真空電容自動匹配器,輸出方式是恒功率模式,電源本身輸出功率是實際功率
射頻頻率 13.56 mhz
清洗時間定時器范圍 0~99.99 min
真空泵 德國技術(shù),雙極旋片真空泵,抽速可達60m3/h
---真空度 工作真空度≦30pa
真空度測量及量程 1.0×105~1.0×10-1 pa進口電子真空計
氣體流量計及量程 ---品牌,量程0-300sccm
進氣閥 全自動電子擋板閥
玻璃觀察窗 觀察清洗艙內(nèi)輝光狀態(tài)
常用工作氣體 氧氣氬氣氮氣或混合氣體可選
氣路 ---的氣路分布結(jié)構(gòu),---氣體分布均勻
plc 德國西門子plc,全自動程序控制
觸摸屏 威綸通觸摸屏,人性化界面,極易操作
全面安全防護 溫度安全防護功能,過載防護功能,短路斷路報警防護功能,各種 誤操作保護功能
電氣部件 全采用施耐德
氣壓調(diào)節(jié)部件 全球smc品牌
電極板 特殊處理的電極板結(jié)構(gòu),---放電均勻,清洗效果
腔體: 高真空密封腔體

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