伯東KRI霍爾離子源 EH400 HC用于離子刻蝕 IBE

伯東企業(yè)上海有限公司為您提供伯東kri霍爾離子源 eh400 hc用于離子刻蝕 ibe。在200mm晶圓時代, 介質、多晶以及金屬刻蝕是刻蝕設備的三大塊. 進入300mm時代以后, 隨著銅互連的發(fā)展, 金屬刻蝕逐漸萎縮, 介質刻蝕份額逐漸加大. 介質刻蝕設備的份額已經超過50%以上. 而且隨著器件互連層數增多, 介質刻蝕設備使用量就越大.
為了適應工藝發(fā)展需求, 各家設備廠商都推出了一系列的關鍵技術來滿足工藝需求. 主要有以下幾類:
1:雙區(qū)進氣+additional gas: additional gas的目的是通過調節(jié)內外區(qū)敏感氣體的量提高整個刻蝕均一性, 結果比較明顯.
2:等離子體技術: 等離子體密度和能量單獨控制
3:等離子體約束: 減少particle, 提高結果重復性
4:工藝組件: 適應不同工藝需求, 對應不同的工藝組件, 比如不同的工藝使用不同的focus ring
5: narrow gap: 窄的gap設計可以使得電子穿過殼層, 中和晶圓上多余的離子, 有利于提高刻蝕剖面陡直度.
6:反應室結構設計；由200mm時的側抽, 改為下抽或者側下抽. 有利于提高氣流均一性.
隨著工藝的發(fā)展需求, 離子源被逐漸用于刻蝕設備，上海伯東代理美---夫曼 kri 離子源, 其產品霍爾離子源 eh400 hc 成功應用于離子蝕刻 ibe.
霍爾離子源離子抨擊能量強, 蝕刻效率快, 可因應多種基材特性, 霍爾源單次使用長久, 耗材成本極低, 操作簡易, 安裝簡易, 因此美---夫曼霍爾離子源廣泛應用于蝕刻制程及基板前處理制程.
霍爾離子源客戶案例一: 某大學天文學系小尺寸刻蝕設備
系統(tǒng)功能: 對于 fe, se, te ,pcco 及多項材料刻蝕工藝.
樣品尺寸: 2英寸硅芯片.
刻蝕設備: 小型刻蝕設備. 選用上海伯東美---夫曼品牌霍爾離子源 eh400 hc
霍爾離子源 eh400hc 安裝于刻蝕腔體內
離子源 eh400hc 自動控制單元
霍爾離子源 eh400hc 通氬氣
對于 fesete 刻蝕應用, 霍爾離子源 eh400hc 條件: 110v/1.5a, 刻蝕速率 >20 a/sec
對于 fesete 刻蝕應用, 霍爾離子源 eh400hc 條件: 110v/1.5a, 刻蝕速率 >17 /sec
霍爾離子源 eh400hc 特性:
1. 高離子濃度, 低離子能量
2. 離子束涵蓋面積廣
3. 鍍膜均勻性佳
4. 提高鍍膜品質
5. 模塊化設計, 保養(yǎng)快速方便
6. 增加光學膜后折射率 (optical index)
7. 全自動控制設計, 操作簡易
8. 低耗材成本, 安裝簡易
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