真空鍍膜工藝中的真空系統(tǒng)也并非單一的真空泵，而是為了獲得鍍膜工藝中所必須的真空度，就需要將不同的泵進(jìn)行組合使用。一般而言，該組合方式為機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、無油泵組分子泵、冷凝泵、鈦擴(kuò)散吸附泵、管道閥門冷阱、真空室、冷卻系統(tǒng)和真空測量。真空泵油霧過濾器主要用在旋片式機(jī)械泵上面，降低排氣對空氣產(chǎn)生的污染，在機(jī)械泵前也有-安裝空濾，防止空氣中的雜質(zhì)與粉塵進(jìn)入泵內(nèi)污染泵油或者造成零部件的磨損。
油擴(kuò)散泵：機(jī)械泵的-真空只有10-2帕，當(dāng)達(dá)到10-1帕的時(shí)候，實(shí)際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴(kuò)散泵。
油擴(kuò)散泵的應(yīng)用壓強(qiáng)范圍是10-1帕-10-7帕，真空鍍膜價(jià)格，它是利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象來排氣的，它具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，抽速大等特點(diǎn)。油擴(kuò)散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成，里面主要添加擴(kuò)散泵油日本的型號是d-704#，根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。
擴(kuò)散泵底部內(nèi)儲存有擴(kuò)散泵油，真空鍍膜報(bào)價(jià)，上部為進(jìn)氣口，右側(cè)旁下部為出氣口，在工作時(shí)出氣口由機(jī)械泵提供前置壓強(qiáng)，機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。
當(dāng)擴(kuò)散泵的油被電爐加熱時(shí)，產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強(qiáng)，機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時(shí)，產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機(jī)械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構(gòu)成一個(gè)向出氣口方向運(yùn)動(dòng)的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結(jié)為液體，流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié)，重復(fù)循環(huán)來實(shí)現(xiàn)抽氣的。
由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，真空鍍膜多少錢，便獲得向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)量，向下飛去，由于射流具有高的流速約200米/秒，高的蒸汽密度，且擴(kuò)散泵油具有高的分子量300-500故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的界面內(nèi)，氣體分子不可能長期滯留，且在射流界面的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差，正是因?yàn)檫@個(gè)濃度差被抽氣體能不斷的越過界面，擴(kuò)散進(jìn)入射流中，真空鍍膜，被帶往出口處，在出口處再由機(jī)械泵抽走。
擴(kuò)散泵的油蒸汽壓是決定泵的-真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學(xué)特性要好。
由于油擴(kuò)散泵是無法有返油的幾率，那么沒有辦法-精密產(chǎn)品的100％純凈，-是半導(dǎo)體行業(yè)，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空機(jī)械泵”所組成的無油真空系統(tǒng)，冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率-，而且有效-真空腔的清潔，-產(chǎn)品的避免產(chǎn)品被污染、增強(qiáng)膜層與基板之間的附著力，但是其維護(hù)成本非常的高，造價(jià)昂貴，所以普及率沒有油擴(kuò)散泵廣泛。
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正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。另外，有的真空泵不能在-壓下工作，需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于-壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2bv系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmhg~25mmhg(絕壓)，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線)，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmhg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmhg下長期工作。
真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的-真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度，選用的真空泵的-真空度至少要2mmhg，1好能達(dá)到1mmhg。通常選擇泵的-真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。
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