超精密加工的發(fā)展經(jīng)歷了三個(gè)階段。
20世紀(jì)50年代至80年代為技術(shù)期。20世紀(jì)50年代末，出于航天、等技術(shù)發(fā)展的需要，美國發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點(diǎn)金剛石切削技術(shù)，又稱為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡及載人飛船用球面、非球面大型零件等。從1966年起，美國的unioncarbide公司、荷蘭philips公司和美國lawrencelivemorelaboratories陸續(xù)推出
各自的超精密金剛石車床，但其應(yīng)用限于少數(shù)大公司與研究單位的試驗(yàn)研究，并以用途或科學(xué)研究用途的產(chǎn)品加工為主。這一時(shí)期，金剛石車床主要用于銅、鋁等軟金屬的加工，也可以加工形狀較復(fù)雜的工件，但只限于軸對(duì)稱形狀的工件例如非球面鏡等。
盡管---代的變化，超精密加工技術(shù)不斷更新，加工精度不斷提高，各國之間的研究側(cè)重點(diǎn)有所不同，但促進(jìn)超精密加工發(fā)展的因素在本質(zhì)上是相同的。這些因素可歸結(jié)如下。
對(duì)產(chǎn)品高---性的追求。對(duì)軸承等一邊承受載荷一邊做相對(duì)運(yùn)動(dòng)的零件，降低表面粗糙度可---零件的耐磨損性，提高其工作穩(wěn)定性、延長(zhǎng)使用壽命。高速高精密軸承中使用的si3n4。陶瓷球的表面粗糙度要求達(dá)到數(shù)納米。加工變質(zhì)層的化學(xué)性質(zhì)活潑，易受腐蝕，所以從提高零件耐腐蝕能力的角度出發(fā)，要求加工產(chǎn)生的變質(zhì)層盡量小。
精密機(jī)械加工工藝的作用，主要從三點(diǎn)來說：
一、是指導(dǎo)生產(chǎn)的主要技術(shù)文件
機(jī)械加工車間生產(chǎn)的計(jì)劃、調(diào)度，工人的操作，零件的加工檢驗(yàn)，精密加工，加工成本的核算，都是以工藝規(guī)程為依據(jù)的。處理生產(chǎn)中的問題，也常以工藝規(guī)程作為共同依據(jù)。如處理事故，應(yīng)按工藝規(guī)程來確定各有關(guān)單位、人員的責(zé)任。
二、是生產(chǎn)準(zhǔn)備工作的主要依據(jù)
車間要生產(chǎn)新零件時(shí)，首先要制訂該零件的機(jī)械加工工藝規(guī)程，再根據(jù)工藝規(guī)程進(jìn)行生產(chǎn)準(zhǔn)備。如：新零件加工工藝中的關(guān)鍵工序的分析研究；準(zhǔn)備所需的刀、夾、量具；原材料及毛坯的采購或制造；新設(shè)備的購置或舊設(shè)備改裝等，均必須根據(jù)工藝來進(jìn)行。
三、是新建機(jī)械制造廠的基本技術(shù)文件
新建批量或大批量機(jī)械加工車間時(shí)，應(yīng)根據(jù)工藝規(guī)程確定所需機(jī)床的種類和數(shù)量以及在車間的布置，再由此確定車間的面積大小、動(dòng)力和吊裝設(shè)備配置以及所需工人的工種、技術(shù)等級(jí)、數(shù)量等。
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