要---硅片厚度的一致性。因為當研磨時,由于磨料分布不均勻,使得行星齒輪片_上、下硅片研磨速度也會不一樣,所以要想---硅片的減薄速度一樣,就必須在每研磨到一定時間時將行星齒輪片翻轉后再進行研磨,從而---硅片厚度的一致性,同時也讓硅片厚度公差得以縮小,具體要研磨多久才進行翻車專為適當,是要根據減薄厚度和測試結果來定的。
1.操作簡單
該設備采用plc控制系統,日本指紋識別減薄機,通過簡單的培訓,操作者即可在液晶顯示屏友好界面的引導下,熟練操作設備。當設備出現故障時, 屏幕向導會提示出錯編碼,易于排除故障。
2.設計安全
該設備的設計處處為使用者的安全著想,---操作加工的安全。
3.---精度
磨盤的進給采用微米步進電機進給系統,---長時間的加工精度。
4.各輪獨立驅動
磨盤及工件盤均采用獨立的電機,分別采用變頻或伺服控制,轉速可任意調整,且控制簡便。
5.冷卻水循環使用
冷卻水箱配有雜質過濾系統,冷卻水可循環使用,即節約成本,又減少了對環境的環境。一臺冷卻水箱可同時連接多臺設備。
特點
型號: 全自動vrg-300a
型號:hrg-150
1. 結構簡單穩固
鑄鐵機身
結構設計---
減少晶片表面損傷及翹曲
2. 自動尺寸控制系統
3.自動修整系統
4. 全自動上下料系統
5. 自動清洗和干燥系統
6. 可編程操作系統
可存儲20套加工程序,簡單操作
易于操控
應用領域
硅片,碳化硅片,藍寶石晶圓,金屬,陶瓷,
碳,玻璃,塑料,復合材料
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