隨著現代科學和技術的發展,薄膜科學已成為近年來迅速發展的學科領域之一,激光脈沖沉積設備公司,是凝聚態物理學和材料科學的一個重要研究領域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不僅具有豐富的物理內涵,而且在微電子、光電子、超導材料等領域具有十分廣泛的應用。長期以來,人們發明了多種制膜技術和方法:真空蒸發沉積、離子束濺射、磁控濺射沉積、分子束外延、金屬有機化學氣相沉積、溶膠- 凝膠法等。上述方法各有特點,并在一些領域得到應用。但由于其各有局限性,仍然不能滿足薄膜研究的發展及多種薄膜制備的需要。隨著激光技術和設備的發展,---是高功率脈沖激光技術的發展,脈沖激光沉積pld技術的特點逐漸被人們認識和接受
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脈沖激光沉積技術適合做的薄膜包括各種多元氧化物,激光脈沖沉積設備,氮化物,---物薄膜,金屬薄膜,磁性材料等。
應用領域:
單晶薄膜外延srtio3,laalo3
壓電薄膜pzt,aln,bifeo3,batio3
鐵電薄膜batio3,kh2po4
熱電薄膜srtio3
金屬和化合物薄膜電極ti,ag,au,pt,ni,co,srruo3,lanio3,yzro2,gdceo2,lasrcofeo3
半導體薄膜zn(mg)o,激光脈沖沉積設備報價,aln,srtio3
高k介質薄膜hfo2,ceo2,al2o3,batio3,srtio3,pbzrtio3,laalo3,ta2o5
超導薄膜yba2cuo7-x,bisrcacuo
光波導,光學薄膜pzt,aln,batio3,al2o3,zro2,激光脈沖沉積設備廠家,tio2
超疏水薄膜ptfe
紅外探測薄膜v2o5,pzt
沈陽鵬程真空技術有限責任公司——脈沖激光沉積供應商,我們為您帶來以下信息。
主要用途:
用于制備超導薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
系統組成:
主要由濺射真空室、旋轉靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、安裝機臺、真空測量及電控系統等部分組成。
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